0102030405
0102030405
CAS № 7783-54-2 Доставчик на азотен трифлуорид. Характеристики на азотен трифлуорид
2024-08-01
Азотният трифлуорид (NF₃) е безцветен газ без мирис при стайна температура и налягане.Той има CAS номер 7783-54-2 и се използва в различни промишлени приложения, предимно в полупроводниковата индустрия за процеси на плазмено ецване и почистване поради химическата си реактивност с материали на основата на силиций.
Характеристики на азотен трифлуорид:
Химични свойства:
NF3 е силен окислител.
Той реагира с водна пара, за да образува флуороводородна киселина (HF), която е силно корозивна и токсична.
Може да се разложи, когато е изложен на високи температури или ултравиолетова светлина, като произвежда токсични и корозивни изпарения, включително азотен диоксид (NO₂).
Физически свойства:
Точка на кипене: -129,2°C (-196,6°F)
Точка на топене: -207°C (-340.6°F)
Плътност: 3,04 g/L (при 25°C и 1 atm)
Съображения за безопасност:
NF₃ е незапалим, но може да поддържа горене.
Той е потенциално вреден при вдишване или при контакт с кожата или очите поради реактивния си характер и продуктите от разпадането му.
Счита се за задушаващо при високи концентрации, тъй като може да измести кислорода във въздуха.
Въздействие върху околната среда:
NF₃ е мощен парников газ с потенциал за глобално затопляне над 17 000 пъти по-голям от CO₂ за период от 100 години.