0102030405
CAS br. 7783-54-2 Dobavljač azot trifluorida. Karakteristike dušikovog trifluorida
2024-08-01
Dušikov trifluorid (NF₃) je bezbojan gas bez mirisa na sobnoj temperaturi i pritisku.Ima CAS broj 7783-54-2 i koristi se u raznim industrijskim aplikacijama, prvenstveno u industriji poluprovodnika za procese plazma jetkanja i čišćenja zbog svoje hemijske reaktivnosti sa materijalima na bazi silicijuma.
Karakteristike dušikovog trifluorida:
Hemijska svojstva:
NF₃ je jako oksidaciono sredstvo.
Reaguje sa vodenom parom i formira fluorovodoničnu kiselinu (HF), koja je veoma korozivna i toksična.
Može se razgraditi kada je izložen visokim temperaturama ili UV svjetlu, proizvodeći toksične i korozivne pare uključujući dušikov dioksid (NO₂).
Fizička svojstva:
Tačka ključanja: -129,2°C (-196,6°F)
Tačka topljenja: -207°C (-340,6°F)
Gustina: 3,04 g/L (na 25°C i 1 atm)
Sigurnosni problemi:
NF₃ nije zapaljiv, ali može podržati sagorijevanje.
Potencijalno je štetan ako se udiše ili ako dođe u kontakt s kožom ili očima zbog svoje reaktivne prirode i produkata raspadanja.
U visokim koncentracijama se smatra zagušljivim jer može istisnuti kiseonik iz vazduha.
Uticaj na okoliš:
NF₃ je moćan gas staklene bašte sa potencijalom globalnog zagrevanja preko 17.000 puta većim od CO₂ u vremenskom periodu od 100 godina.