0102030405
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Hochreine Spezialgase aus Germaniumtetrafluorid (GeF4).
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Kontaktieren Sie unsSpezifikationen
Reinheit, % | 99,99 |
Sauerstoff + Argon | ≤20 ppmv |
Stickstoff | ≤10 ppmv |
Kohlendioxid | ≤5 ppmv |
Kohlenmonoxid | ≤10 ppmv |
Schwefeldioxid | ≤10 ppmv |
Kohlenstofftetrafluorid | ≤10 ppmv |
Säure wie HF | ≤ 30 ppmv |
Technische Informationen
Explosionsgrenzen in der Luft | Nicht brennbar |
Selbstentzündungstemperatur (°C) | Nicht bestimmt |
Molekulargewicht (g/mol) | 148,58 |
Spezifisches Gewicht (Luft =1) | |
Kritische Temperatur (°C) | |
Kritischer Druck (psig) |
Produktbeschreibung
Ein farbloses giftiges Säuregas mit einem stechenden Knoblauchgeruch im trockenen Zustand. Bei Kontakt mit Luftfeuchtigkeit hydrolysiert es zu Flusssäure, Fluorgermansäure und Germaniumoxid-„Rauch“.
Anwendungen
Germaniumtetrafluorid wird als Ionenimplantationsgas verwendet.
Beschreibung2