CAS-Nr. 7783-26-8 Trisilan-Hersteller. Eigenschaften von Trisilan

Trisilan mit der chemischen Formel Si3H8 hat die CAS-Nummer 7783-26-8. Bei dieser Verbindung handelt es sich um ein Silan, eine Gruppe von Organosiliciumverbindungen, die Silizium-Wasserstoff-Bindungen enthalten. Hier sind einige Hauptmerkmale von Trisilan:

Physikalische Eigenschaften:
Trisilan ist bei Raumtemperatur und -druck ein farbloses Gas.
Es hat einen starken Geruch.
Sein Schmelzpunkt liegt bei -195 °C und sein Siedepunkt bei -111,9 °C.
Die Dichte von Trisilan beträgt etwa 1,39 g/L bei 0 °C und 1 bar.
Chemische Eigenschaften:
Trisilan ist hochreaktiv, insbesondere gegenüber Sauerstoff und Feuchtigkeit.
Bei Kontakt mit Luft kann es sich aufgrund seiner hohen Reaktivität spontan entzünden und dabei Siliziumdioxid (SiO2) und Wasser bilden.
Es kann auch mit Halogenen, Metallen und anderen Chemikalien reagieren.
Verwendung:
Trisilan wird in der Halbleiterfertigung zur Abscheidung von Siliziumfilmen verwendet.
Es dient als Vorläufer in chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (CVD) zur Herstellung dünner Siliziumschichten auf Wafern.
Es kann auch bei der Synthese anderer siliziumhaltiger Verbindungen verwendet werden.
Sicherheitsbedenken:
Aufgrund seiner Entflammbarkeit und Reaktivität birgt Trisilan erhebliche Brand- und Explosionsgefahren.
Es kann gesundheitsschädlich sein, wenn es eingeatmet wird oder mit der Haut oder den Augen in Berührung kommt.
Beim Umgang mit Trisilan muss geeignete persönliche Schutzausrüstung (PSA) getragen werden und es sollte unter inerten Atmosphärenbedingungen, entfernt von Zündquellen und inkompatiblen Materialien, gelagert werden.
Zu den Lieferanten von Trisilan können spezialisierte Chemiehersteller und -händler gehören, die Branchen wie Halbleiter und Elektronik beliefern.
Konsultieren Sie vor dem Umgang mit Trisilan immer das Sicherheitsdatenblatt (MSDS) und stellen Sie sicher, dass alle Sicherheitsmaßnahmen getroffen werden, um Unfälle zu verhindern.