0102030405
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CAS-Nr. 7783-54-2 Stickstofftrifluorid-Lieferant. Eigenschaften von Stickstofftrifluorid
01.08.2024
Stickstofftrifluorid (NF₃) ist bei Raumtemperatur und -druck ein farbloses, geruchloses Gas.Es hat die CAS-Nummer 7783-54-2 und wird aufgrund seiner chemischen Reaktivität mit Materialien auf Siliziumbasis in verschiedenen industriellen Anwendungen eingesetzt, vor allem in der Halbleiterindustrie für Plasmaätz- und Reinigungsverfahren.
Eigenschaften von Stickstofftrifluorid:
Chemische Eigenschaften:
NF₃ ist ein starkes Oxidationsmittel.
Es reagiert mit Wasserdampf unter Bildung von Flusssäure (HF), die stark ätzend und giftig ist.
Wenn es hohen Temperaturen oder UV-Licht ausgesetzt wird, kann es sich zersetzen und giftige und ätzende Dämpfe, einschließlich Stickstoffdioxid (NO₂), erzeugen.
Physikalische Eigenschaften:
Siedepunkt: -129,2°C (-196,6°F)
Schmelzpunkt: -207 °C (-340,6 °F)
Dichte: 3,04 g/L (bei 25 °C und 1 atm)
Sicherheitsbedenken:
NF₃ ist nicht brennbar, kann aber die Verbrennung unterstützen.
Aufgrund seiner reaktiven Natur und der Zersetzungsprodukte ist es möglicherweise schädlich, wenn es eingeatmet wird oder mit der Haut oder den Augen in Berührung kommt.
In hohen Konzentrationen gilt es als erstickend, da es den Sauerstoff in der Luft verdrängen kann.
Umweltauswirkungen:
NF₃ ist ein starkes Treibhausgas mit einem globalen Erwärmungspotenzial, das über einen Zeitraum von 100 Jahren mehr als 17.000-mal größer ist als CO₂.