دی کلروسیلان با فرمول شیمیایی H2SiCl2 مایعی بی رنگ، بسیار فرار و قابل اشتعال در دمای اتاق است. این یک ترکیب میانی در تولید سیلیکو با خلوص بالا است...
تری کلروسیلان با فرمول شیمیایی HSiCl3 یک ترکیب مهم است که در تولید سیلیکون با خلوص بالا برای صنایع نیمه هادی و خورشیدی استفاده می شود. شماره CAS آن در واقع 10025 است ...