نیتروژن تری فلوراید (NF3) گازی بی رنگ و بی بو در دما و فشار اتاق است. دارای شماره CAS 7783-54-2 است و در کاربردهای صنعتی مختلف، عمدتاً در نیمه هادی استفاده می شود.
تری فلوراید فسفر با فرمول شیمیایی PF3 ترکیبی متشکل از فسفر و فلوئور است. شماره CAS آن در واقع 7783-55-3 است. در اینجا برخی از ویژگی های تری فلوئور فسفر ...