شماره CAS 593-53-3 مربوط به ترکیب شیمیایی معروف به فلورومتان یا متیل فلوراید است که گاهی اوقات با نام تجاری آن، HFC-161 (هیدروفلوروکربن) نیز شناخته می شود. اینجا هستند...
نیتروژن تری فلوراید (NF3) گازی بی رنگ و بی بو در دما و فشار اتاق است. دارای شماره CAS 7783-54-2 است و در کاربردهای صنعتی مختلف، عمدتاً در نیمه هادی استفاده می شود.