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Diborane deutéré de haute pureté (B2D6)

  • Nom d'expédition DOT Diborane, comprimé
  • Classement POINT 2.3
  • Étiquette DOT Toxique et inflammable
  • Un numéro ET 1911
  • N° CAS 20396-66-1
  • CGA/DISS/JIS 350
  • Expédié comme Gaz comprimé

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Caractéristiques

% de pureté chimique  99,8
Pureté isotopique (100D/(D+H)) 98

Informations techniques

État du cylindre à 21,1°C Gaz
Limites d'inflammabilité dans l'air 0,8%-98%
Température d'auto-inflammation (°C) 40-50
Poids moléculaire (g/mol) 45,79
Température critique ( °C )
Pression critique (psig)

description du produit

Utilisé principalement comme source pour le CVD assisté par plasma des revêtements getteringdéposé sur les surfaces internes des réacteurs Tokomak. Également utilisé comme substitut du diborane dans les dépôts

technologies pour lesquelles la plus grande stabilité chimique du diborane deutérié présente un avantage significatif.

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