0102030405
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N° CAS 7783-54-2 Fournisseur de trifluorure d'azote. Caractéristiques du trifluorure d'azote
2024-08-01
Le trifluorure d'azote (NF₃) est un gaz incolore et inodore à température et pression ambiantes.Il porte le numéro CAS 7783-54-2 et est utilisé dans diverses applications industrielles, principalement dans l'industrie des semi-conducteurs pour les processus de gravure et de nettoyage au plasma en raison de sa réactivité chimique avec les matériaux à base de silicium.
Caractéristiques du trifluorure d’azote :
Propriétés chimiques :
NF₃ est un agent oxydant puissant.
Il réagit avec la vapeur d'eau pour former de l'acide fluorhydrique (HF), hautement corrosif et toxique.
Il peut se décomposer lorsqu'il est exposé à des températures élevées ou aux rayons UV, produisant des fumées toxiques et corrosives, notamment du dioxyde d'azote (NO₂).
Propriétés physiques :
Point d'ébullition : -129,2°C (-196,6°F)
Point de fusion : -207°C (-340,6°F)
Densité : 3,04 g/L (à 25°C et 1 atm)
Problèmes de sécurité :
Le NF₃ est ininflammable mais peut entretenir la combustion.
Il est potentiellement nocif s'il est inhalé ou s'il entre en contact avec la peau ou les yeux en raison de sa nature réactive et des produits de sa décomposition.
Il est considéré comme asphyxiant à des concentrations élevées car il peut déplacer l'oxygène de l'air.
Impact environnemental :
Le NF₃ est un puissant gaz à effet de serre dont le potentiel de réchauffement climatique est plus de 17 000 fois supérieur à celui du CO₂ sur une période de 100 ans.