0102030405
CAS nr 7783-54-2 Nitur Trifluoride Birgir. Einkenni köfnunarefnistríflúoríðs
2024-08-01
Köfnunarefnistríflúoríð (NF₃) er litlaus, lyktarlaus lofttegund við stofuhita og þrýsting.Það hefur CAS númerið 7783-54-2 og er notað í ýmsum iðnaði, fyrst og fremst í hálfleiðaraiðnaði fyrir plasma ætingu og hreinsunarferli vegna efnahvarfs þess við efni sem byggir á kísil.
Einkenni köfnunarefnistríflúoríðs:
Efnafræðilegir eiginleikar:
NF₃ er sterkt oxunarefni.
Það hvarfast við vatnsgufu og myndar flúorsýru (HF), sem er mjög ætandi og eitrað.
Það getur brotnað niður þegar það verður fyrir háum hita eða útfjólubláu ljósi og myndar eitraðar og ætandi gufur, þar á meðal köfnunarefnisdíoxíð (NO₂).
Líkamlegir eiginleikar:
Suðumark: -129,2°C (-196,6°F)
Bræðslumark: -207°C (-340,6°F)
Þéttleiki: 3,04 g/L (við 25°C og 1 atm)
Öryggisáhyggjur:
NF₃ er ekki eldfimt en getur stutt við bruna.
Það er hugsanlega skaðlegt við innöndun eða ef það kemst í snertingu við húð eða augu vegna hvarfgjarns eðlis þess og niðurbrotsafurða.
Það er talið kæfa í háum styrk vegna þess að það getur flutt súrefni í loftinu.
Umhverfisáhrif:
NF₃ er öflug gróðurhúsalofttegund með hnattræna hlýnunargetu yfir 17.000 sinnum meiri en CO₂ á 100 ára tímabili.