高純度重水素化ジボラン (B2D6)
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お問い合わせ仕様
| 化学純度% | ≥99.8 |
| 同位体純度 (100D/(D+H)) | ≥98 |
技術情報
| シリンダー状態 @ 21.1°C | ガス |
| 空気中の可燃限界 | 0.8%-98% |
| 自動発火温度 (°C ) | 40-50 |
| 分子量 (g/mol) | 45.79 |
| 臨界温度 (°C) | |
| 臨界圧力 ( psig ) |
製品説明
主にゲッタリング コーティングのプラズマ支援 CVD のソースとして使用されます。トコマック反応器の内部表面に堆積します。蒸着時のジボランの代替品としても使用
この技術では、重水素化ジボランの優れた化学的安定性が大きな利点となります。
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