高純度ジフルオロメタンガス (CH2F2) フルオロカーボンガス

ジフルオロメタンは、わずかにエーテル様の臭気を持つ無色の可燃性ガスです。独自の蒸気圧のもとで液化ガスとして出荷されます。ジフルオロメタンは、ジフルオロメチレン、HFC-32 フッ化メチレン、または R-32 とも呼ばれ、ジハロゲノアルカンの種類の有機化合物です。 CH2F2という式を持ちます。これは周囲大気中では無色の気体であり、水にわずかに溶け、高い熱安定性を備えています。融点と沸点が低いため (それぞれ -136.0 °C と -51.6 °C)、この化合物と接触すると、次のような結果が生じる可能性があります。ジフルオロメタンは、冷凍や空調などの吸熱プロセスで一般的に使用されます。ジフルオロメタンは主に、SbCl5 を触媒として使用し、液相でジクロロメタンとフッ化水素 (HF) を反応させるバッチプロセスによって合成されます。ジフルオロメタンがよく使用されます。ジフルオロメタンの他の用途には、エアロゾル噴射剤、発泡剤、および溶剤としての使用が含まれます。

アプリケーション
ジフルオロメタン (CH2F2) は、シリコン層のプラズマ エッチングに使用されます。