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高純度ジゲルマン (Ge2H6) 特殊ガス

  • DOT 出荷名 有毒な液体、可燃性、nos (ディゲルマン)
  • DOT 分類 6.1 (有毒); 3 (可燃性)
  • ドットラベル 有毒で可燃性
  • 数字 UN2929
  • CAS番号 13818-89-8
  • CGA/DISS/JIS 632

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仕様

純度、% 99.998
窒素 ≤2ppmv
二酸化炭素 ≤2ppmv
≤2ppmv
ゲルマン ≤5000ppmv
トリガーマン ≤ 300ppmv
メタン ≤ 1ppmv
酸素+アルゴン ≤ 0.5ppmv
一酸化炭素 ≤ 1ppmv
ゲルモキサン ≤ 5ppmv
クロロゲルマン ≤ 5ppmv

技術情報

シリンダー状態 @ 21.1°C 液体
空気中の可燃限界 0.5%-100%
自動発火温度 (°C ) 50
分子量 (g/mol) 151.23
臨界温度 (°C) 利用不可。
臨界圧力 ( psig ) 利用不可。

製品説明

ディゲルマンは、化学式 Ge2H6 の無機化合物です。ゲルマニウムの数少ない水素化物の 1 つであり、無色の液体です。その分子構造はエタンに似ています。

Digermane の応用例は限られています。ゲルマン自体は、好ましい揮発性ゲルマニウム水素化物である。一般に、ジゲルマンは主に、さまざまな用途で使用されるゲルマニウムの前駆体として使用されます。ジゲルマンは、化学気相成長法によって Ge 含有半導体を堆積するために使用できます。

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