高純度四フッ化ゲルマニウム (GeF4) 特殊ガス
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お問い合わせ仕様
純度、% | 99.99 |
酸素+アルゴン | ≤20ppmv |
窒素 | ≤10ppmv |
二酸化炭素 | ≤5ppmv |
一酸化炭素 | ≤10ppmv |
二酸化硫黄 | ≤10ppmv |
四フッ化炭素 | ≤10ppmv |
HFとしての酸性度 | ≤ 30ppmv |
技術情報
空気中の可燃限界 | 不燃性 |
自動発火温度 (°C ) | 未定 |
分子量 (g/mol) | 148.58 |
比重(空気=1) | |
臨界温度 (°C) | |
臨界圧力 ( psig ) |
製品説明
乾燥するとニンニクのような刺激的な臭いを持つ、無色の有毒な酸性ガス。大気中の湿気と接触すると、加水分解してフッ化水素酸、フルオロゲルマン酸、酸化ゲルマニウムの「煙」になります。
アプリケーション
イオン注入ガスとして四フッ化ゲルマニウムを使用する。
説明2