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高純度四フッ化ゲルマニウム (GeF4) 特殊ガス

  • DOT 出荷名 四フッ化ゲルマニウム
  • DOT 分類 2.3、8
  • ドットラベル 不燃性ガス
  • 数字 そして3308
  • CAS番号 7783-58-6
  • CGA/DISS/JIS 330 642
  • として出荷 液化ガス

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仕様

純度、% 99.99
酸素+アルゴン ≤20ppmv
窒素 ≤10ppmv
二酸化炭素 ≤5ppmv
一酸化炭素 ≤10ppmv
二酸化硫黄 ≤10ppmv
四フッ化炭素 ≤10ppmv
HFとしての酸性度 ≤ 30ppmv

技術情報

空気中の可燃限界 不燃性
自動発火温度 (°C ) 未定
分子量 (g/mol) 148.58
比重(空気=1)
臨界温度 (°C)
臨界圧力 ( psig )

製品説明

乾燥するとニンニクのような刺激的な臭いを持つ、無色の有毒な酸性ガス。大気中の湿気と接触すると、加水分解してフッ化水素酸、フルオロゲルマン酸、酸化ゲルマニウムの「煙」になります。


アプリケーション
イオン注入ガスとして四フッ化ゲルマニウムを使用する。

説明2

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