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高純度メチルシラン (CH3SiH3) 特殊ガス

  • DOT 出荷名 圧縮ガス、可燃性、nos (メチルシラン)
  • DOT 分類 2.1
  • ドットラベル 可燃性ガス
  • 数字 3161(液化) 1954(圧縮)
  • CAS番号 992-94-9
  • CGA/DISS/JIS 350 632
  • として出荷 液化ガス(通常)

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仕様

純度、% 99.98
酸素+アルゴン ≤ 2ppmv
窒素 ≤ 10ppmv
二酸化炭素 ≤ 10ppmv
メタン ≤ 50ppmv
シラン ≤ 50ppmv
クロロシラン ≤ 50ppmv

技術情報

空気中の可燃限界 4.3% - ?
自動発火温度 (°C ) 130
分子量 (g/mol) 46.145
比重(空気=1) 0.63
臨界温度 (°C)

製品説明

メチルシランは、化学式 CH3SiH3 の有機ケイ素化合物です。空気中で発火する無色の気体です。メチルトリクロロシランを水素化アルミニウムリチウムで還元することによって製造できます。炭化ケイ素の前駆体として研究されています。

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