高純度メチルシラン (CH3SiH3) 特殊ガス
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お問い合わせ仕様
純度、% | 99.98 |
酸素+アルゴン | ≤ 2ppmv |
窒素 | ≤ 10ppmv |
二酸化炭素 | ≤ 10ppmv |
メタン | ≤ 50ppmv |
シラン | ≤ 50ppmv |
クロロシラン | ≤ 50ppmv |
技術情報
空気中の可燃限界 | 4.3% - ? |
自動発火温度 (°C ) | 130 |
分子量 (g/mol) | 46.145 |
比重(空気=1) | 0.63 |
臨界温度 (°C) |
製品説明
メチルシランは、化学式 CH3SiH3 の有機ケイ素化合物です。空気中で発火する無色の気体です。メチルトリクロロシランを水素化アルミニウムリチウムで還元することによって製造できます。炭化ケイ素の前駆体として研究されています。
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