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CAS No. 75-76-0 四フッ化炭素のサプライヤー。四フッ化炭素の特徴
2024-08-07
CAS 番号 75-76-0 は、テトラフルオロメタンまたはフレオン 14 としても知られる四フッ化炭素に対応します。この化合物は室温で無色無臭の気体であり、さまざまな産業用途に使用されます。四フッ化炭素の特徴は以下の通りです。
四フッ化炭素(CF4)の特徴:
化学式: CF₄
外観：無色の気体。
沸点: -128.1°C (145 K; -198.6°F)
融点: -219.7°C (53.4 K; -363.5°F)
密度: 0°C (32°F) および 1 気圧で 3.49 g/L。
蒸気圧: 25°C (77°F) で 1013 kPa
オゾン層破壊の可能性 (ODP): 0 (オゾン層破壊には寄与しない)。
地球温暖化係数 (GWP): 100 年間で 7,390 (非常に強力な温室効果ガス)。
用途: 半導体製造におけるエッチャント、プラズマ化学気相成長法 (PECVD) のプラズマソースガス、消火剤、およびリーク検出におけるトレーサーガスとして使用されます。また、歴史的には冷媒やエアロゾル噴射剤としても使用されてきました。
安全性に関する情報:
不燃性ですが、密閉された空間では酸素が置換され、窒息につながる可能性があります。
非常に冷たい液体が皮膚に直接接触すると、凍傷を引き起こす可能性があります。
高濃度を吸入すると呼吸困難を引き起こす可能性があります。