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CAS No. 7783-26-8 トリシランの製造業者。トリシランの特徴
2024-07-17
トリシランは化学式 Si3H8 で、CAS 番号は 7783-26-8 です。この化合物はシランであり、ケイ素と水素の結合を含む有機ケイ素化合物のグループです。トリシランの主な特徴は次のとおりです。
物理的特性:
トリシランは、室温および常圧では無色の気体です。
強い臭気があります。
融点は-195 °C、沸点は-111.9 °Cです。
トリシランの密度は、0 °C、1 bar で約 1.39 g/L です。
化学的特性:
トリシランは、特に酸素や水分との反応性が高くなります。
空気と接触すると、反応性が高いため自然発火する可能性があり、二酸化ケイ素 (SiO2) と水が生成します。
ハロゲン、金属、その他の化学物質とも反応する可能性があります。
用途:
トリシランは、半導体製造においてシリコン膜の堆積に使用されます。
これは、ウェーハ上にシリコンの薄膜を作成するための化学蒸着 (CVD) プロセスの前駆体として機能します。
他のケイ素含有化合物の合成にも使用できます。
安全上の懸念:
トリシランは可燃性と反応性があるため、重大な火災や爆発の危険性があります。
吸入したり、皮膚や目に接触した場合は有害となる可能性があります。
トリシランを取り扱うときは、適切な個人用保護具 (PPE) を着用し、発火源や不適合物質から離れた不活性雰囲気条件下で保管する必要があります。
トリシランの供給業者としては、半導体やエレクトロニクスなどの産業に対応する専門化学品の製造業者や販売業者が含まれる場合があります。
トリシランを取り扱う前に必ず製品安全データシート (MSDS) を参照し、事故を防ぐためにすべての安全対策が講じられていることを確認してください。