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CAS No. 7783-54-2 三フッ化窒素の供給業者。三フッ化窒素の特徴
2024-08-01
三フッ化窒素 (NF₃) は、室温および常圧で無色無臭の気体です。CAS 番号は 7783-54-2 で、シリコンベースの材料との化学反応性により、主に半導体産業のプラズマ エッチングや洗浄プロセスなど、さまざまな産業用途で使用されています。
三フッ化窒素の特徴:
化学的特性:
NF₃は強力な酸化剤です。
水蒸気と反応して、腐食性と毒性の高いフッ化水素酸 (HF) が生成されます。
高温や紫外線にさらされると分解し、二酸化窒素 (NO₂) などの有毒で腐食性のフュームを生成する可能性があります。
物理的特性:
沸点: -129.2°C (-196.6°F)
融点: -207°C (-340.6°F)
密度：3.04g/L（25℃、1気圧）
安全上の懸念:
NF₃ は不燃性ですが、燃焼を促進する可能性があります。
その反応性と分解生成物により、吸入したり、皮膚や目に接触すると潜在的に有害です。
空気中の酸素を置換する可能性があるため、高濃度では窒息剤とみなされます。
環境への影響:
NF₃ は、100 年間の地球温暖化係数が CO₂ の 17,000 倍を超える強力な温室効果ガスです。