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CAS No. 7783 - 82 -6 六フッ化タングステンのサプライヤー。六フッ化タングステンの特徴
2024-08-02
六フッ化タングステン (WF₆) は、CAS 番号 7783-82-6 の化合物です。そのユニークな特性により、半導体産業やその他のハイテク用途で広く使用されています。六フッ化タングステンの主な特徴をいくつか示します。
物理的特性:
外観: 六フッ化タングステンは、室温および常圧で無色の気体です。
沸点: 約 12.8°C (55°F)。
融点: -59.2°C (-74.6°F)。
密度: 25°C で 6.23 g/cm3。
溶解性: 多くの一般的な溶媒とは反応しませんが、水や湿気と反応する可能性があります。
化学的特性:
安定性: 通常の状態では安定ですが、熱や湿気にさらされると分解します。
反応性: 水およびほとんどの有機物質との反応性が高く、有毒で腐食性のフッ化水素 (HF) を放出します。
健康被害:
毒性: 六フッ化タングステンは吸入すると非常に有毒で、肺損傷を含む重度の呼吸器疾患を引き起こす可能性があります。
腐食性: 皮膚や目に腐食性があり、暴露すると火傷を引き起こす可能性があります。
用途:
半導体産業: マイクロエレクトロニクスにおけるタングステン膜の堆積のための化学蒸着 (CVD) プロセスで使用されます。
冶金: タングステンベースの合金および化合物の製造に使用されます。
研究：そのユニークな特性により、さまざまな研究分野で活用されています。
六フッ化タングステンを取り扱う場合は、常に適切な個人用保護具 (PPE) を使用し、換気の良い場所または換気フードで作業し、吸入や皮膚への接触を防ぐための厳格な安全手順に従ってください。緊急手順や応急処置施設を利用できるようにしてください。