二フッ化キセノン (XeF2) は、CAS 番号 13709-61-0 の化合物です。これは、さまざまな用途、特に半導体製造や無機化学で使用される強力なフッ素化剤です。
三フッ化窒素 (NF₃) は、室温および常圧で無色無臭の気体です。 CAS 番号 7783-54-2 があり、主に半導体分野を中心としたさまざまな産業用途に使用されています。