化学式 CH3SiH3 のメチルシランは、単純な有機ケイ素化合物です。無色で刺激臭のある可燃性ガスです。メチルシランは非常に反応性が高く、次のような理由で危険となる可能性があります。
三フッ化塩素 (ClF3) は、反応性が高く腐食性の高い化合物であり、さまざまな産業用途で使用されていますが、取り扱いが難しく、その使用はある程度制限されています。