0102030405
0102030405
CAS № 7783-54-2 Азот трифториді жеткізуші. Азот трифторидінің сипаттамасы
01.08.2024 ж
Азот үш фториді (NF₃) - бөлме температурасында және қысымда түссіз, иіссіз газ.Оның CAS нөмірі 7783-54-2 және әртүрлі өнеркәсіптік қолданбаларда, ең алдымен кремний негізіндегі материалдармен химиялық реактивтілігіне байланысты плазмалық өңдеу және тазалау процестері үшін жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде қолданылады.
Азот трифторидінің сипаттамалары:
Химиялық қасиеттері:
NF₃ - күшті тотықтырғыш.
Ол су буымен әрекеттесіп, жоғары коррозиялық және улы фторлы су қышқылын (HF) түзеді.
Ол жоғары температура немесе ультракүлгін сәуленің әсерінен ыдырауы мүмкін, азот диоксиді (NO₂) қоса улы және коррозиялық түтіндер шығарады.
Физикалық қасиеттері:
Қайнау температурасы: -129,2°C (-196,6°F)
Балқу температурасы: -207°C (-340,6°F)
Тығыздығы: 3,04 г/л (25°C және 1 атм)
Қауіпсіздік мәселелері:
NF₃ жанғыш емес, бірақ жануды қолдай алады.
Реактивті табиғаты мен ыдырау өнімдеріне байланысты деммен жұту немесе теріге немесе көзге тиюі ықтимал зиянды.
Ол жоғары концентрацияда тұншықтырғыш болып саналады, өйткені ол ауадағы оттегін ығыстырып жібере алады.
Қоршаған ортаға әсері:
NF₃ – 100 жылдық уақыт аралығындағы CO₂-ден 17 000 есе артық жаһандық жылыну әлеуеті бар күшті парниктік газ.