삼불화질소(NF₃)는 실온 및 압력에서 무색, 무취의 기체입니다. CAS 번호 7783-54-2를 가지며 주로 반도체 분야를 비롯한 다양한 산업 분야에 사용됩니다.
CAS 번호 7440-63-3은 원자 번호 54인 주기율표의 화학 원소인 크세논(Xe)에 해당합니다. 크세논은 무색, 밀도, 무취, 무미의 비활성 기체입니다.