고순도 사불화게르마늄(GeF4) 특수 가스
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문의하기명세서
| 순도, % | 99.99 |
| 산소+ 아르곤 | 20ppmv 이하 |
| 질소 | 10ppmv 이하 |
| 이산화탄소 | 5ppmv 이하 |
| 일산화탄소 | 10ppmv 이하 |
| 이산화황 | 10ppmv 이하 |
| 사불화탄소 | 10ppmv 이하 |
| HF로서의 산도 | 30ppmv 이하 |
기술정보
| 공기 중 가연성 한계 | 불연성 |
| 자연발화온도(°C) | 결정되지 않음 |
| 분자량(g/mol) | 148.58 |
| 비중(공기=1) | |
| 임계온도(°C) | |
| 임계 압력(psig) |
제품 설명
건조되면 매운 마늘 냄새가 나는 무색의 유독성 가스. 대기 수분과 접촉하면 가수분해되어 불화수소산, 플루오로게르만산 및 산화 게르마늄 "연기"가 됩니다.
응용
게르마늄 사불화물은 이온 주입 가스로 사용됩니다.
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