화학식 H2SiCl2를 갖는 디클로로실란은 실온에서 무색, 고휘발성, 인화성 액체입니다. 고순도 실리콘 생산의 중간 화합물입니다.
삼불화염소(ClF3)는 반응성이 높고 부식성이 높은 화합물로 다양한 산업 분야에 사용되어 왔습니다. 그러나 취급의 어려움과 문제로 인해 사용이 다소 제한되어 있습니다.