CAS 번호 7783-26-8 트리실란 제조업체. 트리실란의 특성

화학식 Si3H8을 갖는 트리실란의 CAS 번호는 7783-26-8입니다. 이 화합물은 규소-수소 결합을 포함하는 유기 규소 화합물 그룹인 실란입니다. 트리실란의 주요 특성은 다음과 같습니다.

물리적 특성:
트리실란은 실온 및 압력에서 무색의 가스입니다.
강한 냄새가 난다.
녹는점은 -195°C, 끓는점은 -111.9°C이다.
트리실란의 밀도는 0°C 및 1bar에서 약 1.39g/L입니다.
화학적 성질:
트리실란은 특히 산소와 습기에 대해 반응성이 높습니다.
공기와 접촉하면 높은 반응성으로 인해 자연 발화하여 이산화규소(SiO2)와 물이 형성될 수 있습니다.
또한 할로겐, 금속 및 기타 화학 물질과도 반응할 수 있습니다.
용도:
트리실란은 실리콘 필름 증착을 위해 반도체 제조에 사용됩니다.
이는 웨이퍼에 실리콘 박막을 생성하기 위한 화학 기상 증착(CVD) 공정의 전구체 역할을 합니다.
또한 다른 규소 함유 화합물의 합성에도 사용할 수 있습니다.
안전 문제:
인화성과 반응성으로 인해 트리실란은 심각한 화재 및 폭발 위험을 초래합니다.
흡입하거나 피부나 눈에 닿으면 해로울 수 있습니다.
트리실란을 취급할 때는 적절한 개인 보호 장비(PPE)를 착용해야 하며, 발화원 및 호환되지 않는 물질로부터 멀리 떨어진 불활성 대기 조건에서 보관해야 합니다.
트리실란 공급업체에는 반도체, 전자제품 등의 산업을 대상으로 하는 전문 화학 제조업체 및 유통업체가 포함될 수 있습니다.
트리실란을 취급하기 전에 항상 물질안전보건자료(MSDS)를 참조하고 사고 예방을 위한 모든 안전 조치가 마련되어 있는지 확인하십시오.