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CAS 번호 7783-54-2 삼불화질소 공급업체. 삼불화질소의 특성
2024-08-01
삼불화질소(NF₃)는 실온 및 압력에서 무색, 무취의 기체입니다.CAS 번호는 7783-54-2이며 실리콘 기반 재료와의 화학적 반응성으로 인해 다양한 산업 응용 분야, 주로 반도체 산업의 플라즈마 식각 및 세척 공정에 사용됩니다.
삼불화질소의 특성:
화학적 성질:
NF₃는 강력한 산화제입니다.
이는 수증기와 반응하여 부식성이 높고 독성이 강한 불화수소산(HF)을 형성합니다.
고온이나 자외선에 노출되면 분해되어 이산화질소(NO2)를 포함한 독성 및 부식성 연기를 생성할 수 있습니다.
물리적 특성:
끓는점: -129.2°C(-196.6°F)
융점: -207°C(-340.6°F)
밀도: 3.04g/L(25°C 및 1atm)
안전 문제:
NF₃는 불연성이지만 연소를 촉진할 수 있습니다.
반응성 및 분해 생성물로 인해 흡입하거나 피부나 눈에 접촉하면 잠재적으로 해로울 수 있습니다.
이는 공기 중의 산소를 대체할 수 있기 때문에 고농도에서는 질식제로 간주됩니다.
환경에 미치는 영향:
NF₃는 100년 동안 지구 온난화 지수가 CO2보다 17,000배 이상 높은 강력한 온실가스입니다.