XeF₂(이불화제논)은 CAS 번호 13709-61-0의 화합물입니다. 다양한 응용 분야, 특히 반도체 제조 및 무기 화학 분야에서 사용되는 강력한 불소화제입니다.
삼불화질소(NF₃)는 실온 및 압력에서 무색, 무취의 기체입니다. CAS 번호 7783-54-2를 가지며 주로 반도체 분야를 비롯한 다양한 산업 분야에 사용됩니다.