0102030405
0102030405
CAS № 7783-54-2 Азот трифториди менен камсыздоочу. Азот трифторидинин мүнөздөмөлөрү
2024-08-01
Азот трифториди (NF₃) бөлмө температурасында жана басымда түссүз, жытсыз газ.Анын CAS номери 7783-54-2 жана ар кандай өнөр жайлык колдонмолордо, биринчи кезекте жарым өткөргүч өнөр жайында кремний негизиндеги материалдар менен химиялык реактивдүүлүгүнөн улам плазманы иштетүү жана тазалоо процесстери үчүн колдонулат.
Азот трифторидинин мүнөздөмөлөрү:
Химиялык касиеттери:
NF₃ күчтүү кычкылдандыруучу агент.
Ал суу буусу менен реакцияга кирип, фторид кислотасын (HF) пайда кылат, ал өтө дат жана уулуу.
Ал жогорку температурага же УК нурга дуушар болгондо чирип, уулуу жана жегич түтүндөрдү, анын ичинде азоттун диоксиди (NO₂) чыгарат.
Физикалык касиеттери:
Кайноо температурасы: -129,2°C (-196,6°F)
Эрүү температурасы: -207°C (-340,6°F)
Тыгыздыгы: 3,04 г/л (25°C жана 1 атмда)
Коопсуздук маселелери:
NF₃ күйүүчү эмес, бирок күйүүнү колдой алат.
Ал дем алганда же териге же көзгө тийсе, анын реактивдүү табиятынан жана анын ажыроо продуктуларынан улам зыяндуу болушу мүмкүн.
Ал абадагы кычкылтекти алмаштыра алгандыктан, жогорку концентрацияда асфиксия болуп эсептелет.
Курчап турган чөйрөгө тийгизген таасири:
NF₃ - бул 100 жылдык убакыт аралыгындагы CO₂ден 17 000 эсе жогору глобалдык жылуулук потенциалы бар күчтүү парник газы.