0102030405
0102030405
CAS Nr. 7783-54-2 Slāpekļa trifluorīda piegādātājs. Slāpekļa trifluorīda īpašības
2024-08-01
Slāpekļa trifluorīds (NF₃) ir bezkrāsaina gāze bez smaržas istabas temperatūrā un spiedienā.Tam ir CAS numurs 7783-54-2, un to izmanto dažādos rūpnieciskos lietojumos, galvenokārt pusvadītāju rūpniecībā plazmas kodināšanas un tīrīšanas procesos, jo tas ķīmiski reaģē ar materiāliem uz silīcija bāzes.
Slāpekļa trifluorīda īpašības:
Ķīmiskās īpašības:
NF₃ ir spēcīgs oksidētājs.
Tas reaģē ar ūdens tvaikiem, veidojot fluorūdeņražskābi (HF), kas ir ļoti kodīga un toksiska.
Tas var sadalīties, pakļaujoties augstas temperatūras vai UV gaismas iedarbībai, radot toksiskus un kodīgus izgarojumus, tostarp slāpekļa dioksīdu (NO₂).
Fiziskās īpašības:
Vārīšanās temperatūra: -129,2°C (-196,6°F)
Kušanas temperatūra: -207°C (-340,6°F)
Blīvums: 3,04 g/l (pie 25°C un 1 atm)
Drošības apsvērumi:
NF₃ nav uzliesmojošs, bet var veicināt degšanu.
Tas ir potenciāli kaitīgs, ja tas tiek ieelpots vai nonāk saskarē ar ādu vai acīm, pateicoties tā reaģējošajam raksturam un sadalīšanās produktiem.
Lielā koncentrācijā to uzskata par asfiksējošu, jo tas var izspiest skābekli gaisā.
Ietekme uz vidi:
NF₃ ir spēcīga siltumnīcefekta gāze, kuras globālās sasilšanas potenciāls ir vairāk nekā 17 000 reižu lielāks nekā CO₂ 100 gadu laika posmā.