CAS No 7783 - 82 -6 Гянт болд гексафторид нийлүүлэгч. Вольфрамын гексафторидын шинж чанар
Вольфрамын гексафторид (WF₆) нь CAS 7783-82-6 дугаартай химийн нэгдэл юм. Энэ нь өвөрмөц шинж чанараараа хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл болон бусад өндөр технологийн хэрэглээнд өргөн хэрэглэгддэг. Гянт болд гексафторидын зарим гол шинж чанаруудыг энд харуулав.
Физик шинж чанарууд:
Гадаад төрх: Гянт болд гексафторид нь өрөөний температур ба даралтанд өнгөгүй хий юм.
Буцлах цэг: Ойролцоогоор 12.8°C (55°F).
Хайлах цэг: -59.2°C (-74.6°F).
Нягт: 25°C-д 6.23 г/см³.
Уусах чадвар: Энэ нь олон төрлийн уусгагчтай урвалд ордоггүй боловч ус эсвэл чийгтэй урвалд орж болно.
Химийн шинж чанар:
Тогтвортой байдал: Хэвийн нөхцөлд тогтвортой байх боловч дулаан, чийгэнд өртөх үед задардаг.
Урвалын чадвар: Энэ нь ус болон ихэнх органик бодисуудтай өндөр урвалд орж, хортой, идэмхий фтор устөрөгч (HF) ялгаруулдаг.
Эрүүл мэндийн аюул:
Хордлого: Гянтболдын гексафторид нь амьсгалах замаар маш хортой бөгөөд уушгины гэмтэл зэрэг амьсгалын замын хүнд өвчин үүсгэдэг.
Идэмхий чанар: Энэ нь арьс, нүдэнд идэмхий бөгөөд өртөх нь түлэгдэхэд хүргэдэг.
Хэрэглээ:
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэр: Энэ нь микроэлектроник дахь вольфрамын хальсыг хуримтлуулах химийн уурын хуримтлал (CVD) процесст ашиглагддаг.
Металлурги: Гянт болд дээр суурилсан хайлш, нэгдлүүдийг үйлдвэрлэхэд ашигладаг.
Судалгаа: Өвөрмөц шинж чанараараа янз бүрийн судалгааны салбарт ашигладаг.
Гянт болд гексафторидтой харьцахдаа зохих хувийн хамгаалалтын хэрэгслийг (PPE) үргэлж хэрэглэж, агааржуулалт сайтай газар эсвэл утааны бүрхүүлд ажиллаж, амьсгалах, арьсанд хүрэхээс сэргийлэхийн тулд аюулгүй байдлын дүрмийг чанд дагаж мөрдөнө. Яаралтай тусламжийн арга хэмжээ, анхны тусламжийн хэрэгслийг ашиглах боломжтой эсэхийг шалгаарай.