0102030405
0102030405
No. CAS 7783-54-2 Pembekal Nitrogen Trifluoride. Ciri-ciri Nitrogen Trifluorida
2024-08-01
Nitrogen trifluorida (NF₃) ialah gas tidak berwarna dan tidak berbau pada suhu dan tekanan bilik.Ia mempunyai nombor CAS 7783-54-2 dan digunakan dalam pelbagai aplikasi perindustrian, terutamanya dalam industri semikonduktor untuk proses etsa dan pembersihan plasma disebabkan kereaktifan kimianya dengan bahan berasaskan silikon.
Ciri-ciri Nitrogen Trifluorida:
Sifat kimia:
NF₃ ialah agen pengoksidaan yang kuat.
Ia bertindak balas dengan wap air untuk membentuk asid hidrofluorik (HF), yang sangat menghakis dan toksik.
Ia boleh terurai apabila terdedah kepada suhu tinggi atau cahaya UV, menghasilkan asap toksik dan menghakis termasuk nitrogen dioksida (NO₂).
Sifat Fizikal:
Takat didih: -129.2°C (-196.6°F)
Takat lebur: -207°C (-340.6°F)
Ketumpatan: 3.04 g/L (pada 25°C dan 1 atm)
Kebimbangan Keselamatan:
NF₃ tidak mudah terbakar tetapi boleh menyokong pembakaran.
Ia berpotensi memudaratkan jika terhidu atau jika ia bersentuhan dengan kulit atau mata kerana sifat reaktifnya dan hasil penguraiannya.
Ia dianggap sebagai asfiksia pada kepekatan tinggi kerana ia boleh menyesarkan oksigen di udara.
Kesan Alam Sekitar:
NF₃ ialah gas rumah hijau yang kuat dengan potensi pemanasan global lebih 17,000 kali lebih besar daripada CO₂ dalam jangka masa 100 tahun.