CAS နံပါတ် 7783-26-8 Trisilane ထုတ်လုပ်သူများ။ Trisilane ၏အင်္ဂါရပ်များ
ဓာတုဖော်မြူလာ Si3H8 ပါရှိသော Trisilane တွင် CAS နံပါတ် 7783-26-8 ပါရှိသည်။ ဤဒြပ်ပေါင်းသည် ဆီလီကွန်- ဟိုက်ဒရိုဂျင်နှောင်ကြိုးများပါရှိသော organosilicon ဒြပ်ပေါင်းအုပ်စုဖြစ်သည့် silane ဖြစ်သည်။ ဤသည်မှာ trisilane ၏အဓိကလက္ခဏာများဖြစ်သည်။
ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများ
Trisilane သည် အခန်းအပူချိန်နှင့် ဖိအားတွင် အရောင်မဲ့ဓာတ်ငွေ့ဖြစ်သည်။
အနံ့ပြင်းတယ်။
၎င်း၏ အရည်ပျော်မှတ်မှာ -195°C ဖြစ်ပြီး ၎င်း၏ ဆူမှတ်မှာ -111.9°C ဖြစ်သည်။
trisilane ၏သိပ်သည်းဆသည် 0°C နှင့် 1 bar တွင် ခန့်မှန်းခြေ 1.39 g/L ဖြစ်သည်။
ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများ
Trisilane သည် အထူး သဖြင့် အောက်ဆီဂျင်နှင့် အစိုဓာတ် ပါ၀င်သော ဓာတ်ပြုမှု မြင့်မားသည်။
လေနှင့် ထိတွေ့သောအခါ ၎င်း၏ မြင့်မားသော ဓာတ်ပြုမှုများကြောင့် ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (SiO2) နှင့် ရေတို့ကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။
၎င်းသည် ဟေလိုဂျင်များ၊ သတ္တုများနှင့် အခြားဓာတုပစ္စည်းများနှင့်လည်း တုံ့ပြန်နိုင်သည်။
အသုံးပြုမှုများ-
Trisilane ကို ဆီလီကွန်ဖလင်များ အပ်နှံရန်အတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုသည်။
၎င်းသည် wafers များပေါ်တွင် ဆီလီကွန်၏ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များဖန်တီးရန်အတွက် ဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ရှေ့ပြေးအဖြစ်ဆောင်ရွက်ပါသည်။
အခြား ဆီလီကွန်ပါရှိသော ဒြပ်ပေါင်းများကို ပေါင်းစပ်ရာတွင်လည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။
ဘေးကင်းရေး စိုးရိမ်မှုများ
၎င်း၏ မီးလောင်လွယ်မှုနှင့် ဓာတ်ပြုမှုတို့ကြောင့်၊ trisilane သည် သိသိသာသာ မီးနှင့် ပေါက်ကွဲခြင်း အန္တရာယ်များကို ဖြစ်စေသည်။
ရှူသွင်းလိုက်လျှင် သို့မဟုတ် အရေပြား သို့မဟုတ် မျက်လုံးနှင့် ထိမိပါက အန္တရာယ်ရှိနိုင်သည်။
Trisilane ကို ကိုင်တွယ်ရာတွင် သင့်လျော်သော တစ်ကိုယ်ရည် အကာအကွယ်ပစ္စည်း (PPE) ကို ဝတ်ဆင်ရမည်ဖြစ်ပြီး ၎င်းအား မီးလောင်ကျွမ်းမှု အရင်းအမြစ်များနှင့် ကိုက်ညီမှု မရှိသော ပစ္စည်းများမှ ဝေးရာ မသန်စွမ်း လေထုအခြေအနေအောက်တွင် သိမ်းဆည်းထားသင့်သည်။
trisilane ၏ပေးသွင်းသူများအတွက်၊ ၎င်းတို့တွင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် အီလက်ထရွန်နစ်ပစ္စည်းများကဲ့သို့သော စက်မှုလုပ်ငန်းများကို ပံ့ပိုးပေးသည့် အထူးပြုဓာတုထုတ်လုပ်သူများနှင့် ဖြန့်ဖြူးသူများ ပါဝင်နိုင်သည်။
trisilane ကို မကိုင်တွယ်မီ ပစ္စည်းဘေးကင်းရေး ဒေတာစာရွက် (MSDS) ကို အမြဲတိုင်ပင်ပြီး မတော်တဆမှုများကို ကာကွယ်ရန် ဘေးကင်းရေး အစီအမံများအားလုံးကို သေချာစွာ ထားရှိပါ။