0102030405
0102030405
CAS nr. 7783-54-2 Nitrogen Trifluoride Leverandør. Kjennetegn ved nitrogentrifluorid
2024-08-01
Nitrogentrifluorid (NF₃) er en fargeløs, luktfri gass ved romtemperatur og trykk.Den har CAS-nummer 7783-54-2 og brukes i ulike industrielle applikasjoner, først og fremst i halvlederindustrien for plasmaetsings- og renseprosesser på grunn av dens kjemiske reaktivitet med silisiumbaserte materialer.
Kjennetegn ved nitrogentrifluorid:
Kjemiske egenskaper:
NF3 er et sterkt oksidasjonsmiddel.
Den reagerer med vanndamp og danner flussyre (HF), som er svært etsende og giftig.
Det kan brytes ned når det utsettes for høye temperaturer eller UV-lys, og produserer giftige og etsende røyk inkludert nitrogendioksid (NO₂).
Fysiske egenskaper:
Kokepunkt: -129,2°C (-196,6°F)
Smeltepunkt: -207 °C (-340,6 °F)
Tetthet: 3,04 g/L (ved 25 °C og 1 atm)
Sikkerhetsbekymringer:
NF₃ er ikke brennbart, men kan støtte forbrenning.
Det er potensielt skadelig ved innånding eller hvis det kommer i kontakt med hud eller øyne på grunn av dets reaktive natur og produktene av dets nedbrytning.
Det regnes som et kvelende middel ved høye konsentrasjoner fordi det kan fortrenge oksygen i luften.
Miljøpåvirkning:
NF₃ er en kraftig drivhusgass med et globalt oppvarmingspotensial over 17 000 ganger større enn CO₂ over en 100-års tidsramme.