0102030405
0102030405
CAS № 7783-54-2 Поставщик трифторида азота. Характеристики трифторида азота
2024-08-01
Трифторид азота (NF₃) представляет собой бесцветный газ без запаха при комнатной температуре и давлении.Он имеет номер CAS 7783-54-2 и используется в различных отраслях промышленности, в первую очередь в полупроводниковой промышленности для процессов плазменного травления и очистки из-за его химической активности с материалами на основе кремния.
Характеристики трифторида азота:
Химические свойства:
NF₃ является сильным окислителем.
Он реагирует с водяным паром с образованием плавиковой кислоты (HF), которая очень агрессивна и токсична.
Он может разлагаться под воздействием высоких температур или ультрафиолетового излучения с образованием токсичных и едких паров, включая диоксид азота (NO₂).
Физические свойства:
Точка кипения: -129,2°C (-196,6°F)
Температура плавления: -207°C (-340,6°F)
Плотность: 3,04 г/л (при 25°С и 1 атм)
Проблемы безопасности:
NF₃ негорюч, но может поддерживать горение.
Он потенциально опасен при вдыхании или при попадании на кожу или в глаза из-за своей реактивной природы и продуктов его разложения.
В высоких концентрациях он считается удушающим веществом, поскольку может вытеснять кислород из воздуха.
Воздействие на окружающую среду:
NF₃ — мощный парниковый газ, потенциал глобального потепления которого в 17 000 раз превышает потенциал CO₂ в течение 100 лет.