CAS අංක 7783-26-8 ට්‍රයිසිලේන් නිෂ්පාදකයින්. Trisilane හි ලක්ෂණ
Si3H8 රසායනික සූත්‍රය සහිත Trisilane, CAS අංකය 7783-26-8 ඇත. මෙම සංයෝගය සිලේන් වන අතර එය සිලිකන්-හයිඩ්‍රජන් බන්ධන අඩංගු කාබනික සිලිකන් සංයෝග සමූහයකි. ට්‍රයිසිලේන් හි ප්‍රධාන ලක්ෂණ කිහිපයක් මෙන්න:
භෞතික ගුණාංග:
ට්‍රයිසිලේන් යනු කාමර උෂ්ණත්වයේ සහ පීඩනයේ ඇති අවර්ණ වායුවකි.
එය දැඩි සුවඳක් ඇත.
එහි ද්රවාංකය -195 °C වන අතර එහි තාපාංකය -111.9 °C වේ.
ට්‍රයිසිලේන් ඝනත්වය 0 °C සහ බාර් 1කදී ආසන්න වශයෙන් 1.39 g/L වේ.
රසායනික ගුණ:
ට්‍රයිසිලේන් විශේෂයෙන් ඔක්සිජන් හා තෙතමනය සමඟ ඉතා ප්‍රතික්‍රියාශීලී වේ.
වාතය සමඟ සම්බන්ධ වූ විට, එහි ඉහළ ප්‍රතික්‍රියාශීලීත්වය හේතුවෙන් එය ස්වයංසිද්ධව දැල්විය හැකි අතර, සිලිකන් ඩයොක්සයිඩ් (SiO2) සහ ජලය සෑදීමට හේතු වේ.
එය හැලජන්, ලෝහ සහ වෙනත් රසායනික ද්‍රව්‍ය සමඟ ද ප්‍රතික්‍රියා කළ හැකිය.
භාවිත:
ට්‍රයිසිලේන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී සිලිකන් පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා යොදා ගනී.
එය වේෆර් මත සිලිකන් තුනී පටල සෑදීම සඳහා රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) ක්‍රියාවලීන්හි පූර්වගාමියා ලෙස ක්‍රියා කරයි.
එය අනෙකුත් සිලිකන් අඩංගු සංයෝගවල සංශ්ලේෂණය සඳහා ද භාවිතා කළ හැක.
ආරක්‍ෂාව පිළිබඳ සැලකිලි:
එහි ගිනිගැනීම් සහ ප්‍රතික්‍රියාශීලීත්වය හේතුවෙන් ට්‍රයිසිලේන් සැලකිය යුතු ගිනි හා පිපිරුම් අනතුරු ඇති කරයි.
එය ආශ්වාස කළහොත් හෝ සම හෝ ඇස් සමඟ ස්පර්ශ වුවහොත් එය හානිකර විය හැක.
ට්‍රයිසිලේන් හැසිරවීමේදී සුදුසු පුද්ගලික ආරක්ෂක උපකරණ (PPE) පැළඳිය යුතු අතර, එය ජ්වලන ප්‍රභවයන්ගෙන් සහ නොගැලපෙන ද්‍රව්‍යවලින් බැහැරව නිෂ්ක්‍රීය වායුගෝල තත්ව යටතේ ගබඩා කළ යුතුය.
ට්‍රයිසිලේන් සැපයුම්කරුවන් සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, මේවාට අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික උපකරණ වැනි කර්මාන්ත සඳහා විශේෂිත රසායනික නිෂ්පාදකයින් සහ බෙදාහරින්නන් ඇතුළත් විය හැකිය.
ට්‍රයිසිලේන් හැසිරවීමට පෙර සෑම විටම ද්‍රව්‍ය ආරක්ෂණ දත්ත පත්‍රිකාව (MSDS) විමසා අනතුරු වළක්වා ගැනීම සඳහා සියලු ආරක්ෂක පියවරයන් පවතින බවට සහතික වන්න.