0102030405
0102030405
CAS č. 7783-54-2 Dodávateľ fluoridu dusnatého. Charakteristika fluoridu dusnatého
2024-08-01
Fluorid dusnatý (NF₃) je pri izbovej teplote a tlaku bezfarebný plyn bez zápachu.Má CAS číslo 7783-54-2 a používa sa v rôznych priemyselných aplikáciách, predovšetkým v polovodičovom priemysle na plazmové leptanie a čistenie vďaka svojej chemickej reaktivite s materiálmi na báze kremíka.
Vlastnosti fluoridu dusnatého:
Chemické vlastnosti:
NF3 je silné oxidačné činidlo.
Reaguje s vodnou parou za vzniku kyseliny fluorovodíkovej (HF), ktorá je vysoko korozívna a toxická.
Pri vystavení vysokým teplotám alebo UV žiareniu sa môže rozkladať a vytvárať toxické a korozívne výpary vrátane oxidu dusičitého (NO₂).
Fyzikálne vlastnosti:
Teplota varu: -129,2 °C (-196,6 °F)
Teplota topenia: -207 °C (-340,6 °F)
Hustota: 3,04 g/l (pri 25 °C a 1 atm)
Obavy o bezpečnosť:
NF₃ je nehorľavý, ale môže podporovať horenie.
Je potenciálne škodlivý pri vdýchnutí alebo pri kontakte s pokožkou alebo očami kvôli svojej reaktívnej povahe a produktom jeho rozkladu.
Pri vysokých koncentráciách sa považuje za dusivú, pretože dokáže vytesniť kyslík vo vzduchu.
Vplyv na životné prostredie:
NF₃ je silný skleníkový plyn s potenciálom globálneho otepľovania viac ako 17 000-krát väčším ako CO₂ v časovom horizonte 100 rokov.