0102030405
0102030405
Št. CAS 7783-54-2 Dobavitelj dušikovega trifluorida. Značilnosti dušikovega trifluorida
2024-08-01
Dušikov trifluorid (NF₃) je brezbarven plin brez vonja pri sobni temperaturi in tlaku.Ima številko CAS 7783-54-2 in se uporablja v različnih industrijskih aplikacijah, predvsem v industriji polprevodnikov za postopke plazemskega jedkanja in čiščenja zaradi svoje kemične reaktivnosti z materiali na osnovi silicija.
Značilnosti dušikovega trifluorida:
Kemijske lastnosti:
NF3 je močan oksidant.
Reagira z vodno paro in tvori fluorovodikovo kislino (HF), ki je zelo jedka in strupena.
Lahko se razgradi, če je izpostavljen visokim temperaturam ali UV-svetlobi, pri čemer nastanejo strupeni in jedki hlapi, vključno z dušikovim dioksidom (NO₂).
Fizične lastnosti:
Vrelišče: -129,2 °C (-196,6 °F)
Tališče: -207 °C (-340,6 °F)
Gostota: 3,04 g/L (pri 25°C in 1 atm)
Varnostni pomisleki:
NF₃ ni vnetljiv, vendar lahko podpira gorenje.
Zaradi svoje reaktivnosti in produktov njegove razgradnje je potencialno škodljivo pri vdihavanju ali če pride v stik s kožo ali očmi.
V visokih koncentracijah velja za zadušljivo, ker lahko izpodriva kisik v zraku.
Vpliv na okolje:
NF₃ je močan toplogredni plin s potencialom globalnega segrevanja, ki je več kot 17.000-krat večji od CO₂ v 100-letnem časovnem okviru.