CAS No. 7783-26-8 ผู้ผลิต Trisilane ลักษณะของไตรไซเลน
ไตรไซเลน ซึ่งมีสูตรทางเคมี Si3H8 มีหมายเลข CAS 7783-26-8 สารประกอบนี้คือไซเลน ซึ่งเป็นกลุ่มของสารประกอบออร์กาโนซิลิคอนที่มีพันธะซิลิคอน-ไฮโดรเจน ลักษณะสำคัญของไตรซิเลนมีดังนี้:
คุณสมบัติทางกายภาพ:
ไตรไซเลนเป็นก๊าซไม่มีสีที่อุณหภูมิและความดันห้อง
มันมีกลิ่นแรง
จุดหลอมเหลวคือ -195 °C และจุดเดือดคือ -111.9 °C
ความหนาแน่นของไตรไซเลนอยู่ที่ประมาณ 1.39 กรัม/ลิตร ที่ 0 °C และ 1 บาร์
คุณสมบัติทางเคมี:
ไตรไซเลนมีปฏิกิริยาสูง โดยเฉพาะกับออกซิเจนและความชื้น
เมื่อสัมผัสกับอากาศ มันสามารถลุกติดไฟได้เองเนื่องจากมีปฏิกิริยาสูง ทำให้เกิดการก่อตัวของซิลิคอนไดออกไซด์ (SiO2) และน้ำ
นอกจากนี้ยังสามารถทำปฏิกิริยากับฮาโลเจน โลหะ และสารเคมีอื่นๆ ได้อีกด้วย
ใช้:
Trisilane ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการสะสมของฟิล์มซิลิคอน
โดยทำหน้าที่เป็นสารตั้งต้นในกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) เพื่อสร้างฟิล์มซิลิคอนบางๆ บนแผ่นเวเฟอร์
นอกจากนี้ยังสามารถนำมาใช้ในการสังเคราะห์สารประกอบที่มีซิลิกอนอื่นๆ ได้
ข้อกังวลด้านความปลอดภัย:
เนื่องจากความสามารถในการติดไฟและการเกิดปฏิกิริยา ไตรไซเลนจึงก่อให้เกิดอันตรายจากไฟไหม้และการระเบิดอย่างมีนัยสำคัญ
อาจเป็นอันตรายหากสูดดมหรือสัมผัสกับผิวหนังหรือดวงตา
ต้องสวมอุปกรณ์ป้องกันส่วนบุคคล (PPE) ที่เหมาะสมเมื่อใช้งานสารไตรไซเลน และควรเก็บไว้ภายใต้สภาวะบรรยากาศเฉื่อย ห่างจากแหล่งกำเนิดประกายไฟและวัสดุที่เข้ากันไม่ได้
สำหรับซัพพลายเออร์ของไตรไซเลน อาจรวมถึงผู้ผลิตและผู้จัดจำหน่ายสารเคมีเฉพาะทางที่ให้ความสำคัญกับอุตสาหกรรม เช่น เซมิคอนดักเตอร์ และอิเล็กทรอนิกส์
ศึกษาเอกสารข้อมูลความปลอดภัยของวัสดุ (MSDS) ทุกครั้งก่อนใช้งานไตรไซเลน และตรวจสอบให้แน่ใจว่ามีมาตรการด้านความปลอดภัยทั้งหมดเพื่อป้องกันอุบัติเหตุ