H2SiCl2 kimyasal formülüne sahip diklorosilan, oda sıcaklığında renksiz, oldukça uçucu ve yanıcı bir sıvıdır. Yüksek saflıkta silika üretiminde bir ara bileşiktir.
HSiCl3 kimyasal formülüne sahip triklorosilan, yarı iletken ve güneş enerjisi endüstrileri için yüksek saflıkta silikon üretiminde kullanılan önemli bir bileşiktir. CAS numarası aslında 10025...