CAS No. 7783-26-8 Трисилан җитештерүчеләре. Трисиланга характеристика
Трисилан, Si3H8 химик формуласы белән, CAS саны 7783-26-8. Бу катнашма силан, кремний-водород бәйләнешләрен үз эченә алган органосиликон кушылмалар төркеме. Менә трисиланның төп үзенчәлекләре:
Физик үзенчәлекләр:
Трисилан - бүлмә температурасында һәм басымда төссез газ.
Аның көчле исе бар.
Аның эрү ноктасы -195 ° C, кайнау ноктасы -111,9 ° C.
Трисиланның тыгызлыгы якынча 1,39 г / Л 0 ° C һәм 1 барда.
Химик үзенчәлекләр:
Трисилан бик реактив, аеруча кислород һәм дым белән.
Airава белән контактта, ул югары реактивлыгы аркасында үз-үзеннән кабынырга мөмкин, кремний диоксиды (SiO2) һәм су барлыкка килүгә китерә.
Ул шулай ук галоген, металл һәм башка химик матдәләр белән реакция ясарга мөмкин.
Куллану:
Трисилан ярымүткәргеч җитештерүдә кремний пленкаларын урнаштыру өчен кулланыла.
Бу ваферларда кремнийның нечкә фильмнарын ясау өчен химик пар парламенты (CVD) процессларында прекурсор булып хезмәт итә.
Аны шулай ук кремний булган башка кушылмалар синтезында кулланырга мөмкин.
Куркынычсызлык проблемалары:
Аның яну һәм реактивлыгы аркасында трисилан зур янгын һәм шартлау куркынычы тудыра.
Бу сулыш алса яки тире яки күз белән контактка керсә, зарарлы булырга мөмкин.
Тризиланны эшләгәндә тиешле шәхси саклагыч җиһазлар (PPE) кияргә кирәк, һәм ул инерт атмосфера шартларында ут кабызу чыганакларыннан һәм туры килмәгән материаллардан сакланырга тиеш.
Тризилан белән тәэмин итүчеләргә килгәндә, аларда ярымүткәргеч һәм электроника кебек тармакларга туры килгән махсус химия җитештерүчеләре һәм дистрибьюторлары булырга мөмкин.
Трисилан белән эшләгәнче, һәрвакыт материаль куркынычсызлык мәгълүматлары таблицасына (MSDS) мөрәҗәгать итегез һәм аварияләрне кисәтү өчен барлык куркынычсызлык чаралары булганын тикшерегез.