0102030405
0102030405
CAS № 7783-54-2 Постачальник трифториду азоту. Характеристика трифториду азоту
2024-08-01
Трифторид азоту (NF₃) є безбарвним газом без запаху за кімнатної температури та тиску.Він має номер CAS 7783-54-2 і використовується в різних промислових цілях, насамперед у напівпровідниковій промисловості для процесів плазмового травлення та очищення через його хімічну реакційну здатність з матеріалами на основі кремнію.
Характеристики трифториду азоту:
Хімічні властивості:
NF3 є сильним окислювачем.
Він реагує з водяною парою з утворенням фтористоводневої кислоти (HF), яка є сильно корозійною та токсичною.
Він може розкладатися під впливом високих температур або ультрафіолетового світла, утворюючи токсичні та корозійні пари, включаючи діоксид азоту (NO₂).
Фізичні властивості:
Точка кипіння: -129,2°C (-196,6°F)
Точка плавлення: -207°C (-340,6°F)
Щільність: 3,04 г/л (при 25°C і 1 атм)
Питання безпеки:
NF₃ негорючий, але може підтримувати горіння.
Він потенційно шкідливий при вдиханні або контакті зі шкірою чи очима через його реактивну природу та продукти його розкладання.
Він вважається задушливим у високих концентраціях, оскільки він може витісняти кисень у повітрі.
Вплив на навколишнє середовище:
NF₃ є сильним парниковим газом із потенціалом глобального потепління більш ніж у 17 000 разів більшим, ніж CO₂ протягом 100-річного періоду.