0102030405
0102030405
Số CAS 7783-54-2 Nhà cung cấp Nitơ Triflorua. Đặc điểm của Nitơ Triflorua
2024-08-01
Nitơ triflorua (NF₃) là chất khí không màu, không mùi ở nhiệt độ và áp suất phòng.Nó có số CAS 7783-54-2 và được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp khác nhau, chủ yếu trong ngành công nghiệp bán dẫn cho quá trình làm sạch và khắc plasma do khả năng phản ứng hóa học của nó với vật liệu gốc silicon.
Đặc điểm của Nitơ Triflorua:
Tính chất hóa học:
NF₃ là một tác nhân oxy hóa mạnh.
Nó phản ứng với hơi nước tạo thành axit hydrofluoric (HF), có tính ăn mòn và độc hại cao.
Nó có thể phân hủy khi tiếp xúc với nhiệt độ cao hoặc tia UV, tạo ra khói độc hại và ăn mòn bao gồm nitơ dioxide (NO₂).
Tính chất vật lý:
Điểm sôi: -129,2°C (-196,6°F)
Điểm nóng chảy: -207°C (-340,6°F)
Mật độ: 3,04 g/L (ở 25°C và 1 atm)
Mối quan tâm về an toàn:
NF₃ không cháy nhưng có thể hỗ trợ quá trình đốt cháy.
Nó có khả năng gây hại nếu hít phải hoặc nếu tiếp xúc với da hoặc mắt do tính chất phản ứng và các sản phẩm phân hủy của nó.
Nó được coi là chất gây ngạt thở ở nồng độ cao vì nó có thể thay thế oxy trong không khí.
Tác động môi trường:
NF₃ là một loại khí nhà kính mạnh có tiềm năng làm nóng lên toàn cầu lớn hơn 17.000 lần so với CO₂ trong khung thời gian 100 năm.